胡松，男 最高学历，博士
工作单位：中国科学院光电技术研究所
个人简历
1988/08，中国科学院光电技术研究所，微电子装备与生物芯片总体研究室，研究员，博士生导师。四川省学术带头人后备人选，2005年入选中国科学院“西部之光”人才计划。
一直从事微细光学技术专用设备、生命科学仪器的研制工作。先后承担二十多项微电子光刻装备领域“七五”、“八五”、“九五”、“十五”国家科技攻关，中科院重大项目，国家“863”项目，国家自然科学基金等，具有丰富的项目研发经验。
2004年作为主要负责人之一完成中科院知识创新工程重大方向性项目——“生物芯片仪器研制”，主持研发成功“激光共聚焦生物芯片扫描仪”和“CCD生物芯片阅读仪”，通过在德国、法国试用和权威机构检测表明，激光共聚焦生物芯片扫描仪属于国际先进水平。通过中国科学院主持的鉴定，并获四川省科技进步二等奖；
近年来，在高新技术研究以及仪器设备研发方面，承担了多个国家项目。作为课题负责人承担国家自然科学基金3项，包括“基于光栅调制空间相位成像纳米对准相位解析研究（60976077）”，“高数值孔径光子筛偏振成像机理研究（61076099）”，“大数值孔径光子筛成像的像差特性研究（61376110）”，在前沿技术研究领域取得了丰硕成果。在仪器设备研发方面，作为副总设计师承担国家重大仪器专项、国家重大专项各一项，作为课题负责人承担国家高技术研究发展计划（863计划）一项，积累了丰富的大型工程项目研发经验。此外，作为课题负责人，主持开发URE-2000系列光刻机，包括单、双面深度曝光机、无掩模光刻机、大面积光刻机、投影光刻机等多种类型，累计销售400余台，并开创了我国微电子光刻装备出口国外的先例，在仪器设备研发方面具有较强的研发实力。
发表科技论文100余篇，作为副主编出版微电子装备制造专著一本（《光学投影曝光微纳加工技术》），授权专利20余项。曾获中科院院长奖学金和中科院刘永龄奖学金。多次被评为中科院及研究所先进工作者、优秀共产党员和标兵。2009年《光学投影曝光微纳加工技术》，获得中国大学出版社优秀学术著作二等奖；2010年获得四川省有突出贡献优秀专家；2012年，中国科学院成都分院优秀导师；2014年获得四川省第七届劳动模范和先进工作者称号，2015年，获得政府特殊津贴。
研究主要成果
发表SCI论文30余篇，国家发明专利60余项，撰写专著一部。
代表性论文：
1)Chengliang Di, Song Hu, Wei Yan, Yanli Li, Guang Li, and Junmin Tong. Interferometric Scheme for High-Sensitivity Coaxial Focusing in Projection Lithography [J]. IEEE Photonics Journal, Vol. 6, No. 3, 2014, (06).
2)Zhu, Jiangping; Hu, Song; Yu, Junsheng.; Zhou, Shaolin*; Tang, Yan; Zhong, Min; Zhao, Lixin; Chen, Minyong; Li, Lanlan;
He, Yu; Jiang, Wei" Four-quadrant gratings moire fringe alignment measurement in proximity lithography,OPTICS EXPRESS,21(3),3463-3473,2013
3)Gao, Hongtao*; Hu, Song; Du, Chunlei; Zhang, Yudong,Theoretical model for manipulating light distribution in the time
domain by using a spatially homogenous dynamic medium,JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA B-OPTICAL PHYSICS,30(3),622-625,2013
4)dZhu, Jiangping*; Hu, Song; Yu, Junsheng; Tang, Yan; Xu, Feng; He, Yu; Zhou, Shaolin; Li, Lanlan,Influence of tilt moire
fringe on alignment accuracy in proximity lithography,OPTICS AND LASERS IN ENGINEERING,51(4),371-381,2013
5)Tang, Yan*; Hu, Song; Yang, Yong; He, Yu,Focusing property of high numerical aperture photon sieves based on vector
diffraction,OPTICS COMMUNICATIONS,295,1-4,2013
代表性专利：
1)胡松，严伟，李艳丽，一种基于边缘检测的生物芯片样点识别方法，201110006888.6，授权
2)王建，赵立新，徐文祥，严伟，胡松，一种用于光刻设备中的光束稳定装置，201010582736.6，授权
3)邢薇，赵立新，胡松，王建，李金龙，一种动镜弹性支撑装置，201210026273.4，授权
4)邢薇，胡松，王肇志，一种光刻机中的片夹上片自动轴向定位锁紧装置，201110236547.8，授权
5)邢薇，胡松，王肇志，杨勇，一种投影物镜柔性机构调平装置，201110236543.X，授权
6)邢薇，王肇志，胡松，一种光刻机机中的输片双稳态水平锁紧装置，201110236926.7，授权
7)唐燕，胡松，赵立新，严伟，一种交织型光子筛，201110025563.2，授权
8)李艳丽，胡松，严伟，王建，邢薇，杨勇，陈铭勇，一种可调光束能量衰减装置，201010572547.0，授权
9)李金龙，胡松，赵立新，徐峰，李兰兰，盛壮，一种空气静压止推轴承，201110064971.9，授权
10)邢薇，胡松，赵立新，徐文祥，胡淘，陈磊，一种光刻机真空曝光装置，201010605511.8，授权
11)陈铭勇，胡松，李艳丽，一种用于投影光刻中焦面检测的光学系统，201010605515.6，授权
精通的专业和设备
长期从事微电子装备关键技术及整机研究。精通微电子装备相关高均有性照明技术、高精度工件台技术、高精度检焦及对准技术、高分辨力投影物镜成像技术以及高端光刻装备整机集成等关键技术。熟悉紫外接近接触式光刻机、紫外投影光刻机、数字无掩模光刻机、3D打印光刻机、纳米压印光刻机， ArF光刻机、EUV光刻机等微电子专业设备。
在研项目
国家重大专项，2009ZX02204-004,”ArF曝光系统研制”，
国家重大专项，2008ZX02501-007，“极紫外光刻原理实验装置机械与真空系统研制”
国家重大科研装备研制项目，“超分辨光刻装备研制”
国家自然基金项目，61376110，大数值孔径光子筛成像的像差特性研究
未来研究方向
ArF光刻技术，EUV光刻技术，扫描式3D光刻技术。
待转化的专利或成果
扫描式3D光刻技术，通过xyz三个维度上的扫描运动，结合数字微镜阵列实时控制，实现任意三维结构加工。该技术与现有3D光刻技术相比，通过扫描曝光具有加工速度快、加工面积大、精度高等特点，并且可与多层套刻、电镀、电注等手段结合，多不同区域内的结构材料进行复合调制、可实现真三维结构加工等优点。该技术不仅有望在微细加工领域取得应用，完成三维集成电路、MEMS器件、微光学元件等特殊结构三维微纳器件的加工，而且有望在宏观加工领域如非球面加工、自由曲面加工等取得应用，对传统加工手段进行 突破性的改变。
