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邢廷文

邢廷文 最高学历研究生

工作单位中国科学院光电技术研究所

 

个人简历

1981.091985.06   华中科技大学(原华中工学院)光学系学习,获学士学位

1985.091988.06   中国科学院光电技术研究所学习,获硕士学位

1988.061995.06   中国科学院光电技术研究所工作              

1995.061996.10   日本国东京工艺大学光学系统研究室进修

1996.101999.09   日本国NALUX(又名日本非球面)公司工作

1999.092000.01   中国科学院光电技术研究所工作

2000.012003.02   中国科学院光电技术研究所工作,应用光学研究室主任

2003.022008.05   中国科学院光电技术研究所工作,微细加工光学技术国家重点实验室主任

2008.5—          中国科学院光电技术研究所工作,应用光学研究室主任

研究主要成果

   参加完成了光纤传像望远镜/潜望镜系统、眼科手术显微镜、系列高档手术显微镜、亚微米投影光刻物镜、紫外成像物镜、红外成像物镜、观测设备等系统的研制。获得省部级科技进步一等奖2项、二等奖2项、三等奖1项,在国内外发表论文32篇,申请发明专利11项,合作专著一本。

精通的专业和设备

    主要从事光学系统、光学镜头、光学仪器的研究开发工作,涉及光学仪器的总体方案制定、光学设计、光机设计、系统检测、光电探测器的应用。精通的主要设备包括精密长度、角度、表面形状、表面粗糙度、光学材料特性等测试设备,红外特性测量设备,光电探测设备,光电成像设备等。

在研项目

    纯反射式红外光学系统,投影光刻曝光光学系统等。

未来研究方向

    微电子光刻技术,特种光学技术

待转化的专利或成果

    微极大规模集成电路中光刻机的投影曝光光学系统的研制已经进入集成阶段,产生了一批专利,成果有待转化。

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